2", 3" dan 4" Substrat GaSb

SPESIFIKASI am

Saiz

2"

3"

4"

Orientasi

(100)±0.1 darjah

(100)±0.1 darjah

(100)±0.1 darjah

Diameter (mm)

50.5±0.5

76.2±0.4

100.0±0.5

OF Orientasi

EJ

EJ

EJ

Toleransi

±0.1 darjah

±0.1 darjah

±0.1 darjah

OF Panjang(mm)

16±2

22±2

32.5±2.5

JIKA Panjang(mm)

8±1

11±1

18±1

Ketebalan (μm)

500±25

625±25

1000±25

Saiz boleh disesuaikan.

Kekonduksian dan Dopan

Dopan

Jenis Kekonduksian

CC /cm^-3

Mobiliti/cm²V^-1S^-1

Ketumpatan Dislokasi/ cm^-2

Dinyahdop

jenis-p

Kurang daripada atau sama dengan 2x10^-17

>500

2",3",4" Kurang daripada atau sama dengan 1000

Telurium (Te)

jenis-n

(0.5~9)x10¹⁷

3500~2000

2",3",4" Kurang daripada atau sama dengan 1000

Metrik elektrik yang lebih ketat boleh disediakan atas permintaan.

KEDAPAT

Permukaan

2"

3"

4"

Digilap/Terukir

TTV(μm)

<8

<8

<10

Tunduk(μm)

<8

<8

<10

Warp(μm)

<12

<12

<15

Digilap/Digilap

TTV(μm)

<5

<5

<5

Tunduk(μm)

<5

<5

<5

Warp(μm)

<8

<8

<10